LG M�nchen I 7. Zivilkammer — 2024-10-15 — 7 O 13928/23 — Endurteil

Entscheidungsdatum: 2024-10-15

Aktenzeichen: 7 O 13928/23

Dokumenttyp: Endurteil

Tenor

1. Die Klage wird abgewiesen.

2. Die Kl�gerin hat die Kosten des Rechtsstreits zu tragen.

3. Das Urteil ist gegen Sicherheitsleistung in H�he von 115 % des jeweils zu vollstreckenden Betrags vorl�ufig vollstreckbar.

4. Der Streitwert wird auf 2 Mio. EUR festgesetzt.

Tatbestand

1 Die Kl�gerin nimmt die Beklagten wegen behaupteter unberechtigter Anmeldung von Patenten in Anspruch.

2 Die Beklagte zu 1) ist Inhaberin des am 09.11.2020 von der … (nachfolgend: … ) angemeldeten deutschen Patents … (Anlage TW 17, nachfolgend: DE… oder Klagepatent A) mit dem Titel „Vorrichtung zur Reinigung von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie Masken“. Das Klagepatent A wurde am 26.02.2024 in der durch Antrag vom 13.04.2023 ge�nderten Form erteilt. Am 11.03.2024 wurde hieraus das Gebrauchsmuster DE… 1 (Anlage TW 18, nachfolgend DE… abgezweigt. Die PCT-Anmeldung mit der Publikationsnummer WO… (nachfolgend: WO … ) beansprucht die Priorit�t des Klagepatents A und wurde am 05.11.2021 angemeldet. Der Antrag auf Eintritt in die Europ�ische Phase wurde am 09.05.2023 gestellt. Die Ver�ffentlichung erfolgte unter der EP4241302 (nachfolgend: EP‘…) am 13.09.2023. Diese Patentfamilie wird nachfolgend als „Patentfamilie A“ bezeichnet. Das Klagepatent A wurde am 26.09.2022 und die PCT-Anmeldung WO‘… am 16.09.2022 auf die Beklagte zu 1) �bertragen. Als Erfinder sind unter anderem die Beklagten zu 4) und zu 5) eingetragen.

3 In der eingeschr�nkten Fassung lautet der ma�gebliche Anspruch 1 (Einschr�nkung durch Unterstreichung markiert):

„Vorrichtung (10) zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern (30) f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, wobei der Hohlk�rper (12)

-eine Bodenwand (32) und eine oder mehrere Seitenw�nde (34), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (33) bilden, und

-eine der Bodenwand (32) gegen�berliegende �ffnung (36) aufweist, die von einer Randfl�che (38) der Seitenwand (34) umschlossen wird, umfasst, wobei die Vorrichtung (10)

-eine Auflagewand (20), auf welche der Hohlk�rper (12) mit der Randfl�che (38) aufgelegt werden kann,

-eine Verriegelungseinrichtung (26), mit welcher der Hohlk�rper (12) mit der Randfl�che (38) dichtend und l�sbar mit der Auflagewand (20) verbindbar ist,

-zumindest eine von der Auflagewand (20) gebildete Durchgangs�ffnung (24), die radial innerhalb der Verriegelungseinrichtung (26) angeordnet ist,

-eine Reinigungseinrichtung (40), mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) abgegeben werden kann, wenn der Hohlk�rper (12) mit der Auflagewand (20) verbunden ist, und

-einen ersten Abf�hrkanal (70) mit einem ersten Ende (72) umfasst, wobei der erste Abf�hrkanal (70) mit dem ersten Ende (72) ausschlie�lich mit der Durchgangs�ffnung (24) in Fluidkommunikation steht und mit welchem das von der Reinigungseinrichtung (40) abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann,

dadurch gekennzeichnet, dass in der Auflagewand (20) ein erster Kanal (41) angeordnet ist, mit welchem ein Sp�lungsfluid zur Randfl�che (38) gef�hrt werdenkann.

4 Anspruch 17 sch�tzt spiegelbildlich ein entsprechendes Verfahren.

5 Die Beklagte zu 1) ist weiter Inhaberin des am 09.11.2020 von der … angemeldeten deutschen Patents mit der Publikationsnummer … (Anlage TW-B 1, nachfolgend: DE‘… oder Klagepatent B) mit dem Titel „Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken“. Die Anmeldung des Streitpatents B wurde am 12.05.2022 offengelegt. Die PCT-Anmeldung mit der Publikationsnummer WO… (Anlage TW-B 2, nachfolgend: WO‘…) beansprucht die Priorit�t des Klagepatents B und wurde am 5.11.2021 angemeldet. .. Am 29.02.2024 wurde hieraus das deutsche Gebrauchsmuster … (Anlage TW 19, nachfolgend DE‘…) abgezweigt. Der Antrag auf Eintritt in die Europ�ische Phase wurde am 09.05.2023 gestellt. Die Ver�ffentlichung erfolgte unter der Publikationsnummer EP… (EP‘… ) am 13.09.2023. Diese Patentfamilie wird nachfolgend als Patentfamilie B bezeichnet. Das Klagepatent B wurde am 26.09.2022 und die PCT Anmeldung WO‘… am 16.09.2022 von der … auf die Beklagte zu 1) �bertragen. Als Erfinder sind unter anderem die Beklagten zu 4) und zu 5) eingetragen.

6 In der eingeschr�nkten Fassung lautet der Anspruch 1 (Einschr�nkung gegen�ber der urspr�nglichen Fassung durch Unterstreichung markiert):

„Vorrichtung (12) zum Behandeln von topff�rmigen Hohlk�rpern (10), insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, umfassend

-eine Wandung (14), welche einen Innenraum (16) umschlie�t,

-eine im Innenraum (16) angeordnete Greif- und Bewegungseinrichtung (17) zum Bewegen des Hohlk�rpers (10) innerhalb des Innenraums (16), und

-eine von der Wandung (14) gebildete Wandungs�ffnung (26), die von einem Verschlussk�rper (28) verschlie�bar ist und durch welche der Innenraum (16) zug�nglich ist, wobei der Verschlussk�rper (28)

-◦ mittels einer Befestigungseinheit (30) bewegbar in der 15 Vorrichtung (12) gelagert ist, und

-◦ einen Aufnahmeabschnitt (34) aufweist, mit welchem der Hohlk�rper (10) l�sbar mit dem Verschlussk�rper (28) verbindbar ist,

dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlk�rper (10)

-einen ersten Greifabschnitt (46) und

-einen zweiten Greifabschnitt (48) aufweist, wobei

-der Aufnahmeabschnitt (34) Verriegelungsmittel (36) aufweist, mit denen der Verschlussk�rper (28) unter Verwendung des ersten Greifabschnitts (46) mit dem Hohlk�rper (10) zusammenwirken kann, und

-die Greif- und Bewegungseinrichtung (17) Greifmittel (50) aufweist, mit denen die Greif- und Bewegungseinrichtung (17) unter Verwendung des zweiten Greifabschnitts (48) mit dem Hohlk�rper (10) zusammenwirken kann.“

7 Das korrespondierende Verfahren wird von Anspruch 11 gesch�tzt.

8 Das Klagepatent C mit der Publikationsnummer DE… (Anlage TW-C-1, nachfolgend DE ‘… oder Klagepatent C) tr�gt den Titel „Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen und/oder Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken“. Es wurde am 07.09.2022 von der Beklagten zu 1) angemeldet. Die Anmeldung des Klagepatents C wurde am 09.11.2023 offengelegt. Die PCT-Anmeldung mit der Publikationsnummer WO… (nachfolgend WO ‘… ) beansprucht die Priorit�t des Klagepatents C und wurde am 14.02.2023 angemeldet. Diese Patentfamilie wird nachfolgend Patentfamilie C genannt. Als Erfinder ist der Beklagte zu 4) eingetragen.

9 Der hier ma�gebliche Anspruch 1 lautet:

„Vorrichtung (10) zum Trocknen und/oder Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, wobei der Hohk�rper (12)

-eine Hohlk�rperwandung (14), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (16) bildet, wobei die Hohlk�rperinnenfl�che (16) einen Hohlk�rperinnenraum (17) begrenzt, und

-eine von der Hohlk�rperwandung (14) umschlossene Hohlk�rper�ffnung (18) aufweist, durch welche der Hohlk�rperinnenraum (17) zug�nglich ist, umfasst, wobei die Vorrichtung (10)

-ein erstes Haltemittel (30), mit welcher die Vorrichtung (10) haltend mit dem Hohlk�rper (12) Zusammenwirken kann,

-◦ eine Evakuierungseinrichtung (60) zum Anlegen eines Unterdrucks im Hohlk�rperinnenraum (17) und/oder

-◦ eine F�rdereinrichtung (66) zum F�rdern eines Sp�lungsfluids durch den Hohlk�rperinnenraum (17), und

-einen Verdr�ngungsk�rper (48) umfasst, der durch die Hohlk�rper�ffnung (18) in den Hohlk�rperinnenraum (17) einbringbar oder eingebracht ist.“

10 Das korrespondierende Verfahren wird von Anspruch 15 gesch�tzt.

11 Die Klagepatentfamilie D umfasst die PCT-Anmeldung mit der Publikationsnummer WO… 1 (Anlage TW-D-1, nachfolgend: WO‘… oder Klagepatent D), die von der Beklagten zu 1) am 14.02.2023 angemeldet wurde und die Priorit�t DE… vom 06.05.2022 beansprucht. Die Anmeldung der WO… wurde am 09.11.2023 offengelegt. Bislang wurde noch kein Antrag auf Eintritt in die nationalen Phasen gestellt. Als Erfinder ist der Beklagte zu 4) eingetragen.

12 Der ma�gebliche Anspruch 1 lautet:

„Verfahren zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern (30) f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer entsprechenden Vorrichtung, wobei

-der Hohlk�rper

-◦ eine Bodenwand (32) und eine oder mehrere Seitenw�nde (34), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (33) bilden, und

-◦ eine der Bodenwand (32) gegen�berliegende �ffnung (36) aufweist, die von einer Randfl�che (38) der Seitenwand (34) umschlossen wird, umfasst, und

-die Vorrichtung

-◦ eine Reinigungseinrichtung (40) mit einer ersten Abgabeeinheit (43), mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) abgegeben werden kann, und

-◦ einen ersten Abf�hrkanal (70) aufweist, mit welchem das von der Reinigungseinrichtung (40) abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann, und

-das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

-Abgeben eines ersten Reinigungsfluids zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) mittels der ersten Abgabeeinheit (43), und

-◦ Abf�hren des ersten Reinigungsfluids mittels des ersten Abf�hrkanals (70), wobei

-◦ als erstes Reinigungsfluid �berkritisches Kohlendioxid verwendet wird.“

13 Die Kl�gerin geh�rt zur …-Konzerngruppe und entwickelt und vertreibt Anlagen f�r die Industrieautomatisierung, unter anderem Anlagen zur Reinigung von Halbleiterbeh�ltern f�r die Halbleiterfertigung

14 Die Beklagte zu 1) wurde im Fr�hjahr 2021 unter anderen von den Beklagten zu 4) und zu 5) gegr�ndet und im August 2021 in das Handelsregister eingetragen. Die Beklagte zu 1) bietet ebenfalls Anlagen zur Reinigung von Halbleiterbeh�ltern f�r die Halbleiterfertigung an.

15 Der Beklagte zu 2) war von 2006 bis 2014 Gesch�ftsf�hrer der Kl�gerin bzw. ihrer Rechtsvorg�ngerin, der …. Vom 01.05.2014 bis zu seinem Ausscheiden Ende Mai 2022 war er in einem Angestellten-/Arbeitnehmerverh�ltnis bei der Kl�gerin t�tig. Zu seinen Aufgaben z�hlte die Entwicklung von Reinigungsvorrichtungen f�r topff�rmige Hohlk�rper, insbesondere Transportbeh�lter f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken. Der Beklagte zu 2) nahm seine T�tigkeit bei der Beklagten zu 1) am 01.06.2022 auf und wurde im Oktober 2022 zum Gesch�ftsf�hrer ernannt. Er ist Mitgesellschafter der Beklagten zu 1).

16 Der Beklagte zu 3) ist Betriebswirt und war von 2003 bis 2014 und 2018 bis 2019 als Gesch�ftsf�hrer und zwischenzeitlich ab dem 01.05.2014 als Arbeitnehmer der Kl�gerin bzw. ihrer Rechtsvorg�ngerin t�tig. Das Arbeitsverh�ltnis bei der Kl�gerin endete zu 30.09.2020, im Jahr 2022 stieg der Beklagte zu 3) bei der Beklagten zu 1) als Gesch�ftsf�hrer und Mitgesellschafter ein.

17 Der Beklagte zu 4) ist gesch�ftsf�hrender Gesellschafter der … und Mitgesellschafter der Beklagten zu 1). Im Zeitraum 2003 bis 2014 war er in leitender Funktion f�r die … Unternehmensgruppe t�tig, welche sich ebenfalls mit nasschemischen Prozessen befasst.

18 Der Beklagte zu 5) ist Mitgesellschafter der Beklagten zu 1) und gr�ndete im Jahr 1993 die … Unternehmensgruppe.

19 Die Kl�gerin tr�gt vor, die Patentanmeldungen und erteilten Patente seien lediglich formell zugunsten der Beklagten zu 1) eingetragen. Materiell berechtigt an den Patentanmeldungen, den Patenten und den zugrundeliegenden Erfindungen sei die Kl�gerin, in deren Betrieb diese Erfindungen get�tigt worden seien.

20 Das Wissen �ber diese Erfindungen sei von damaligen Arbeitnehmern der Kl�gerin – aller Wahrscheinlichkeit nach vor allem den Beklagten zu 2) – an die urspr�ngliche Patentanmelderin, die …gelangt und an die Beklagte zu 1) weitergegeben worden. Es sei nahezu ausgeschlossen, dass die eingetragenen Erfinder tats�chlich die Erfindung gemacht h�tten. Bei den Reinigungsvorrichtungen f�r Transportbeh�lter f�r Halbleiterwafer handele es sich um ein komplexes Spezialgebiet. Es sei nicht ersichtlich, dass die Beklagten zu 4) und zu 5) �ber die erforderlichen Kenntnisse verf�gten, um die patentgem��en L�sungen zu entwickeln.

21 Die Kl�gerin begehrt �ber die streitgegenst�ndliche Vindikation hinaus die �bertragung von Familienmitgliedern der Patentfamilien A, B und C. Hinsichtlich dieser Patente wurde das Verfahren in der m�ndlichen Verhandlung vom 15.10.2024 abgetrennt. Das Verfahren hat das Aktenzeichen 7 O 13005/24.

22 Die Kl�gerin beantragt zuletzt:

I.

1. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, die Patentanmeldungen der Publikationsnummern … einschlie�lich der Anspr�che auf deren Erteilung jeweils f�r alle benannten Territorien, insbesondere einschlie�lich der entsprechenden Europ�ischen Patentanmeldung …02 sowie ihrer Benennungen, das erteilte Patent …4 sowie das Gebrauchsmuster … und die Teilanmeldung mit Az. … sowie alle bisherigen und zuk�nftigen Erteilungen, Teilanmeldungen und Gebrauchsmusterabzweigungen aus den vorgenannten Anmeldungen, an die Kl�gerin abzutreten und in die Umschreibungen der jeweiligen Register einzuwilligen und alle erforderlichen Erkl�rungen f�r eine solche Umschreibung abzugeben;

2. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, Auskunft dar�ber zu erteilen, in welchen Staaten/Regionen die PCT-Anmeldung der Nummer … in die nationale oder regionale Phase �bergegangen ist und/oder weitere dieselbe Priorit�t beanspruchende Anmeldungen oder Schutzrechte bestehen, unter Angabe der jeweiligen Aktenzeichen;

3. die Beklagten zu 1) bis 5) zu verurteilen, Auskunft zu erteilen und Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie, und/oder soweit bekannt Dritte, seit dem Anmeldedatum der jeweiligen Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. I.1

Vorrichtungen zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, wobei der Hohlk�rper

-eine Bodenwand und eine oder mehrere Seitenw�nde, die eine Hohlk�rperinnenfl�che bilden, und

-eine der Bodenwand gegen�berliegende �ffnung aufweist, die von einer Randfl�che der Seitenwand umschlossen wird, umfasst, wobei die Vorrichtung

-eine Auflagewand, auf welche der Hohlk�rper mit der Randfl�che aufgelegt werden kann,

-eine Verriegelungseinrichtung, mit welcher der Hohlk�rper mit der Randfl�che dichtend und l�sbar mit der Auflagewand verbindbar ist,

-zumindest eine von der Auflagewand gebildete Durchgangs�ffnung, die radial innerhalb der Verriegelungseinrichtung angeordnet ist,

-eine Reinigungseinrichtung, mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che abgegeben werden kann, wenn der Hohlk�rper mit der Auflagewand verbunden ist, und

-einen ersten Abf�hrkanal mit einem ersten Ende umfasst, wobei der erste Abf�hrkanal mit dem ersten Ende ausschlie�lich mit der Durchgangs�ffnung in Fluidkommunikation steht und mit welchem das von der Reinigungseinrichtung abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann

und/oder

Verfahren zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer Vorrichtung gem�� dieser Ziff. I.3, umfassend folgende Schritte:

-Auflegen des Hohlk�rpers auf die Auflagewand mit der Randfl�che,

-Dichtendes und l�sbares Verbinden des Hohlk�rpers mit der Auflagewand mittels der Verriegelungseinrichtung, wobei der Hohlk�rper an der Randfl�che gegen�ber der Auflagewand abgedichtet wird,

-Abgeben eines ersten Reinigungsfluids zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che mittels des ersten Reinigungskopfs der Reinigungseinrichtung, und Abf�hren des ersten Reinigungsfluids mittels des ersten Abf�hrkanals, und/oder

-Abgeben eines zweiten Reinigungsfluids zum Reinigen der Hohlk�rperau�enfl�che mittels des zweiten Reinigungskopfs der Reinigungseinrichtung, und Abf�hren des zweiten Reinigungsfluids mittels des zweiten Abf�hrkanals

angewendet, hergestellt, angeboten, in Verkehr gebracht oder zu den genannten Zwecken entweder eingef�hrt oder besessen haben, einschlie�lich der Vorlage von etwaigen Verwertungs- bzw. Lizenzvertr�gen �ber ebendiese Schutzgegenst�nde

und zwar in Form eines chronologischen Verzeichnisses unter Angabe

a)der erzielten Verkaufserl�se,

b)der Herstellungsmengen und Herstellungszeiten der genannten Erzeugnisse,

c)der Menge der bezogenen oder bestellten Erzeugnisse,

d)der einzelnen Lieferungen und Bestellungen dieser Produkte, aufgeschl�sselt nach Typenbezeichnungen, Liefer- und Bestellmengen, Lieferzeiten und Preisen,

e)der Namen und Anschriften der Lizenznehmer, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Lizenzvertr�ge,

f)der mit der Lizenzierung erzielten Lizenzeinnahmen und/oder die sonstigen geldwerten Vorteile aus der Lizenzierung, aufgeschl�sselt nach Kalenderjahren, einschlie�lich Kopien der Lizenzabrechnungen,

g)des Tauschs oder Verkaufs der Rechte an der Erfindung im In- und Ausland und die daf�r erhaltenen Gegenleistungen, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Vertr�ge,

wobei die Beklagte verpflichtet ist, zu den in den Punkten a) bis g) genannten Angaben Honorarabrechnungen, Auftragsunterlagen, Auftragsbest�tigungen, Rechnungen, Liefer- und Zollpapiere vorzulegen;

4. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Kl�gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem. Ziff. I.1 entstanden ist, nebst Zinsen in H�he von 5 Prozentpunkten �ber dem Basiszinssatz seit der F�lligkeit des jeweiligen Anspruchs;

5. festzustellen, dass die Beklagte zu 1) verpflichtet ist, der Kl�gerin die aus der Eigen- und Fremdnutzung stammenden Vorteile, die durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem. Ziff. I.1. erzielt oder in sonstiger Weise aus der Rechtsstellung als Anmelderin bzw. Inhaberin gezogen wurden, auszugleichen;

6. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, es bei Meidung eines f�r jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes von bis zu 250.000 EUR, ersatzweise Ordnungshaft, oder einer Ordnungshaft bis zu 6 Monaten, im Falle mehrfacher Zuwiderhandlungen bis zu insgesamt 2 Jahren, jeweils zu vollziehen an den Gesch�ftsf�hrern, zu unterlassen, ohne Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. I.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen;

7. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) nicht berechtigt waren, ohne die Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. I.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen, bevor eine Entscheidung in diesem Verfahren ergangen ist.

II.

1. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, die Anspr�che auf Erteilung der Patente der Publikationsnummern … 1 einschlie�lich der Anspr�che auf deren Erteilung jeweils f�r alle benannten Territorien, insbesondere einschlie�lich der entsprechenden Europ�ischen Patentanmeldung … sowie ihrer Benennungen sowie das Gebrauchsmuster … 1 und alle bisherigen und zuk�nftigen Erteilungen, Teilanmeldungen und Gebrauchsmusterabzweigungen aus den vorgenannten Anmeldungen, an die Kl�gerin abzutreten und in die Umschreibungen der jeweiligen Register einzuwilligen;

2. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, Auskunft dar�ber zu erteilen, in welchen Staaten/Regionen die PCT-Anmeldung … in die nationale oder regionale Phase �bergegangen ist und/oder weitere dieselbe Priorit�t beanspruchende Anmeldungen oder Schutzrechte bestehen, unter Angabe der jeweiligen Aktenzeichen;

3. die Beklagten zu 1) bis 5) zu verurteilen, Auskunft zu erteilen und Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie, und/oder soweit bekannt Dritte, seit dem Anmeldedatum der jeweiligen Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. II.1

Vorrichtung zum Behandeln von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, umfassend

-eine Wandung, welche einen Innenraum umschlie�t,

-eine im Innenraum angeordnete Greif- und Bewegungseinrichtung zum Bewegen des Hohlk�rpers innerhalb des Innenraums, und

-eine von der Wandung gebildete Wandungs�ffnung, die von einem Verschlussk�rper verschlie�bar ist und durch welche der Innenraum zug�nglich ist, wobei der Verschlussk�rper

-mittels einer Befestigungseinheit bewegbar in der Vorrichtung gelagert ist, und

-einen Aufnahmeabschnitt aufweist, mit welchem der Hohlk�rper l�sbar mit dem Verschlussk�rper verbindbar ist;

und/oder

Verfahren zum Behandeln von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Anspr�che, umfassend folgende Schritte:

-Bewegen des Verschlussk�rpers in die ersten Stellung, in welcher in welcher der Verschlussk�rper die Wandungs�ffnung freigibt,

-Zuf�hren des Hohlk�rpers zum Aufnahmeabschnitt und Aktivieren des Aufnahmeabschnitts zum Verbinden des Hohlk�rpers mit dem Verschlussk�rper, und

-Bewegen des Verschlussk�rpers in die Schlie�stellung, in welcher der Verschlussk�rper die Wandungs�ffnung verschlie�t

angewendet, hergestellt, angeboten, in Verkehr gebracht oder zu den genannten Zwecken entweder eingef�hrt oder besessen haben, einschlie�lich der Vorlage von etwaigen Verwertungs- bzw. Lizenzvertr�gen �ber ebendiese Schutzgegenst�nde und zwar in Form eines chronologischen Verzeichnisses unter Angabe

a)der erzielten Verkaufserl�se,

b)der Herstellungsmengen und Herstellungszeiten der genannten Erzeugnisse,

c)der Menge der bezogenen oder bestellten Erzeugnisse,

d)der einzelnen Lieferungen und Bestellungen dieser Produkte, aufgeschl�sselt nach Typenbezeichnungen, Liefer- und Bestellmengen, Lieferzeiten und Preisen,

e)der Namen und Anschriften der Lizenznehmer, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Lizenzvertr�ge,

f)der mit der Lizenzierung erzielten Lizenzeinnahmen und/oder die sonstigen geldwerten Vorteile aus der Lizenzierung, aufgeschl�sselt nach Kalenderjahren, einschlie�lich Kopien der Lizenzabrechnungen,

g)des Tauschs oder Verkaufs der Rechte an der Erfindung im In- und Ausland und die daf�r erhaltenen Gegenleistungen, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Vertr�ge,

wobei die Beklagte verpflichtet ist, zu den in den Punkten a) bis g) genannten Angaben Honorarabrechnungen, Auftragsunterlagen, Auftragsbest�tigungen, Rechnungen, Liefer- und Zollpapiere vorzulegen;

4. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Kl�gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem. Ziff. II.1 entstanden ist, nebst Zinsen in H�he von 5 Prozentpunkten �ber dem Basiszinssatz seit der F�lligkeit des jeweiligen Anspruchs;

5. festzustellen, dass die Beklagte zu 1) verpflichtet ist, der Kl�gerin die aus der Eigen- und Fremdnutzung stammenden Vorteile, die durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem. Ziff. II.1. erzielt oder in sonstiger Weise aus der Rechtsstellung als Anmelderin gezogen wurden, auszugleichen;

6. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, es bei Meidung eines f�r jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes von bis zu 250.000 EUR, ersatzweise Ordnungshaft, oder einer Ordnungshaft bis zu 6 Monaten, im Falle mehrfacher Zuwiderhandlungen bis zu insgesamt 2 Jahren, jeweils zu vollziehen an den Gesch�ftsf�hrern, zu unterlassen, ohne Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. II.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen;

7. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) nicht berechtigt waren, ohne die Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen bzw. Schutzrechte gem�� Ziff. II.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen, bevor eine Entscheidung in diesem Verfahren ergangen ist.;

III.

1. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, die Anspr�che auf Erteilung der Patente der Publikationsnummern … einschlie�lich der Anspr�che auf deren Erteilung jeweils f�r alle benannten Territorien und alle bisherigen und zuk�nftigen Erteilungen, Teilanmeldungen und Gebrauchsmusterabzweigungen aus den vorgenannten Anmeldungen, an die Kl�gerin abzutreten und in die Umschreibungen der jeweiligen Register einzuwilligen;

2. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, Auskunft dar�ber zu erteilen, in welchen Staaten/Regionen die PCT-Anmeldung … in die nationale oder regionale Phase �bergegangen ist und/oder weitere dieselbe Priorit�t beanspruchende Anmeldungen oder Schutzrechte bestehen, unter Angabe der jeweiligen Aktenzeichen;

3. die Beklagten zu 1) bis 5) zu verurteilen, Auskunft zu erteilen und Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie, und/oder soweit bekannt Dritte, seit dem Anmeldedatum der jeweiligen Anmeldungen gem�� Ziff. III.1

Vorrichtungen zum Trocknen und/oder Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken, wobei der Hohlk�rper

-eine Hohlk�rperwandung, die eine Hohlk�rperinnenfl�che bildet, wobei die Hohlk�rperinnenfl�che einen Hohlk�rperinnenraum begrenzt, und

-eine von der Hohlk�rperwandung umschlossene Hohlk�rper�ffnung aufweist, durch welche der Hohlk�rperinnenraum zug�nglich ist, umfasst, wobei die Vorrichtung

-ein erstes Haltemittel, mit welcher die Vorrichtung haltend mit dem Hohlk�rper zusammenwirken kann,

-eine Evakuierungseinrichtung zum Anlegen eines Unterdrucks im Hohlk�rperinnenraum und/oder

-eine F�rdereinrichtung zum F�rdern eines Sp�lungsfluids durch den Hohlk�rperinnenraum, und

-einen Verdr�ngungsk�rper umfasst, der durch die Hohlk�rper�ffnung in den Hohlk�rperinnenraum einbringbar oder eingebracht ist.;

und/oder

Verfahren zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Anspr�che, umfassend folgende Schritte:

-Haltendes Zusammenwirken der Hohlk�rperwandung mit dem ersten Haltemittel,

-Einbringen des Verdr�ngungsk�rpers in den Hohlk�rperinnenraum, und – Anlegen eines Unterdrucks im Hohlk�rperinnenraum mittels einer Evakuierungseinrichtung und/oder

-F�rdern eines Sp�lungsfluids durch den Hohlk�rperinnenraum mittels einer F�rdereinrichtung

angewendet, hergestellt, angeboten, in Verkehr gebracht oder zu den genannten Zwecken entweder eingef�hrt oder besessen haben, einschlie�lich der Vorlage von etwaigen Verwertungs- bzw. Lizenzvertr�gen �ber ebendiese Schutzgegenst�nde

und zwar in Form eines chronologischen Verzeichnisses unter Angabe

a)der erzielten Verkaufserl�se,

b)der Herstellungsmengen und Herstellungszeiten der genannten Erzeugnisse,

c)der Menge der bezogenen oder bestellten Erzeugnisse,

d)der einzelnen Lieferungen und Bestellungen dieser Produkte, aufgeschl�sselt nach Typenbezeichnungen, Liefer- und Bestellmengen, Lieferzeiten und Preisen,

e)der Namen und Anschriften der Lizenznehmer, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Lizenzvertr�ge,

f)der mit der Lizenzierung erzielten Lizenzeinnahmen und/oder die sonstigen geldwerten Vorteile aus der Lizenzierung, aufgeschl�sselt nach Kalenderjahren, einschlie�lich Kopien der Lizenzabrechnungen,

g)des Tauschs oder Verkaufs der Rechte an der Erfindung im In- und Ausland und die daf�r erhaltenen Gegenleistungen, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Vertr�ge,

wobei die Beklagte verpflichtet ist, zu den in den Punkten a) bis g) genannten Angaben Honorarabrechnungen, Auftragsunterlagen, Auftragsbest�tigungen, Rechnungen, Liefer- und Zollpapiere vorzulegen;

4. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Kl�gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen gem. Ziff. III.1 entstanden ist, nebst Zinsen in H�he von 5 Prozentpunkten �ber dem Basiszinssatz seit der F�lligkeit des jeweiligen Anspruchs;

5. festzustellen, dass die Beklagte zu 1) verpflichtet ist, der Kl�gerin die aus der Eigen- und Fremdnutzung stammenden Vorteile, die durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen gem. Ziff. III.1. erzielt oder in sonstiger Weise aus der Rechtsstellung als Anmelderin gezogen wurden, auszugleichen;

6. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, es bei Meidung eines f�r jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes von bis zu 250.000 EUR, ersatzweise Ordnungshaft, oder einer Ordnungshaft bis zu 6 Monaten, im Falle mehrfacher Zuwiderhandlungen bis zu insgesamt 2 Jahren, jeweils zu vollziehen an den Gesch�ftsf�hrern, zu unterlassen, ohne Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen gem�� Ziff. III.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen;

7. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) nicht berechtigt waren, ohne die Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen gem�� Ziff. III.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen, bevor eine Entscheidung in diesem Verfahren ergangen ist.

IV.

1. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, die Anspr�che auf Erteilung der Patente der Publikationsnummer … einschlie�lich der Anspr�che auf deren Erteilung jeweils f�r alle benannten Territorien, insbesondere einschlie�lich aller bisherigen und zuk�nftigen Erteilungen, Teilanmeldungen und Gebrauchsmusterabzweigungen aus den vorgenannten Anmeldungen, an die Kl�gerin abzutreten und in die Umschreibungen der jeweiligen Register einzuwilligen;

2. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, Auskunft dar�ber zu erteilen, in welchen Staaten/Regionen die PCT-Anmeldung … in die nationale oder regionale Phase �bergegangen ist und/oder weitere dieselbe Priorit�t beanspruchende Anmeldungen oder Schutzrechte bestehen, unter Angabe der jeweiligen Aktenzeichen;

3. die Beklagten zu 1) bis 5) zu verurteilen, Auskunft zu erteilen und Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie, und/oder soweit bekannt Dritte, seit dem Anmeldedatum der jeweiligen Anmeldungen gem�� Ziff. IV.1

Verfahren zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern, insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer entsprechenden Vorrichtung, wobei

-der Hohlk�rper

-◦ eine Bodenwand und eine oder mehrere Seiten – w�nde, die eine Hohlk�rperinnenfl�che bilden, und

-◦ eine der Bodenwand gegen�berliegende �ffnung aufweist, die von einer Randfl�che der Seitenwand umschlossen wird, umfasst, und

-die Vorrichtung

-◦ eine Reinigungseinrichtung mit einer ersten Abgabeeinheit, mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che abgegeben werden kann, und

-◦ einen ersten Abf�hrkanal aufweist, mit welchem das von der Reinigungseinrichtung abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann, und

-das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

-◦ Abgeben eines ersten Reinigungsfluids zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che mittels der ersten Abgabeeinheit, und

-◦ Abf�hren des ersten Reinigungsfluids mittels des ersten Abf�hrkanals, wobei

-◦ als erstes Reinigungsfluid �berkritisches Kohlendioxid verwendet wird

angewendet oder angewendet lassen haben, einschlie�lich der Vorlage von etwaigen Verwertungs- bzw. Lizenzvertr�gen �ber ebendiese Schutzgegenst�nde und zwar in Form eines chronologischen Verzeichnisses unter Angabe

a)der erzielten Verkaufserl�se,

b)der Herstellungsmengen und Herstellungszeiten der genannten Erzeugnisse,

c)der Menge der bezogenen oder bestellten Erzeugnisse,

d)der einzelnen Lieferungen und Bestellungen dieser Produkte, aufgeschl�sselt nach Typenbezeichnungen, Liefer- und Bestellmengen, Lieferzeiten und Preisen,

e)der Namen und Anschriften der Lizenznehmer, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Lizenzvertr�ge,

f)der mit der Lizenzierung erzielten Lizenzeinnahmen und/oder die sonstigen geldwerten Vorteile aus der Lizenzierung, aufgeschl�sselt nach Kalenderjahren, einschlie�lich Kopien der Lizenzabrechnungen,

g)des Tauschs oder Verkaufs der Rechte an der Erfindung im In- und Ausland und die daf�r erhaltenen Gegenleistungen, einschlie�lich Kopien der entsprechenden Vertr�ge,

wobei die Beklagte verpflichtet ist, zu den in den Punkten a) bis g) genannten Angaben Honorarabrechnungen, Auftragsunterlagen, Auftragsbest�tigungen, Rechnungen, Liefer- und Zollpapiere vorzulegen;

4. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Kl�gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen gem. Ziff. IV.1 entstanden ist, nebst Zinsen in H�he von 5 Prozentpunkten �ber dem Basiszinssatz seit der F�lligkeit des jeweiligen Anspruchs;

5. festzustellen, dass die Beklagte zu 1) verpflichtet ist, der Kl�gerin die aus der Eigen- und Fremdnutzung stammenden Vorteile, die durch die Anmeldung, Verfolgung bzw. Verwertung der Anmeldungen gem. Ziff. IV.1. erzielt oder in sonstiger Weise aus der Rechtsstellung als Anmelderin gezogen wurden, auszugleichen;

6. die Beklagte zu 1) zu verurteilen, es bei Meidung eines f�r jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes von bis zu 250.000 EUR, ersatzweise Ordnungshaft, oder einer Ordnungshaft bis zu 6 Monaten, im Falle mehrfacher Zuwiderhandlungen bis zu insgesamt 2 Jahren, jeweils zu vollziehen an den Gesch�ftsf�hrern, zu unterlassen, ohne Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen gem�� Ziff. IV.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen;

7. festzustellen, dass die Beklagten zu 1) bis 5) nicht berechtigt waren, ohne die Zustimmung der Kl�gerin die Anmeldungen gem�� Ziff. IV.1 oder die Benennung eines Vertragsstaates davon zur�ckzunehmen, die Jahresgeb�hrenzahlung zu vers�umen oder irgendwelche Verf�gungen, �bertragungen und/oder Abtretungen, einschlie�lich irgendwelcher Lizenzen, in Bezug darauf vorzunehmen, bevor eine Entscheidung in diesem Verfahren ergangen ist.

23 Die Beklagten beantragen:

1.Klageabweisung

2.Hilfsweise: Den Beklagten zu 1) bis 5) wird gestattet, die Zwangsvollstreckung gegen Sicherheitsleistung (Bank- oder Sparkassenb�rgschaft) abzuwenden.

24 Die Beklagten sind der Ansicht, die Kl�gerin habe bereits nicht schl�ssig vorbetragen, dass sie hinsichtlich der streitgegenst�ndlichen Erfindungen Erfindungsbesitz gehabt habe. Die vorgelegten Handskizzen und PowerPoint-Pr�sentationen zeigten noch keine fertige Erfindung. Es ergebe sich daraus nicht, dass die Erfindungen der Beklagten wesensgleich mit etwaigen Erfindungen der Kl�gerin seien.

25 Weiter habe die Kl�gerin den Wissenstransfer nicht schl�ssig dargelegt. Selbst wenn man einen Erfindungsbesitz der Kl�gerin ann�hme, l�gen allenfalls Doppelerfindungen vor. Die Kl�gerin habe schon seit Jahren versucht, das Arbeitsverh�ltnis mit dem Beklagten zu 2) zu beenden, er sei deshalb nicht mehr in die Entwicklung von Reinigungsvorrichtungen f�r Transportbeh�lter f�r Halbleiterwafer eingebunden gewesen. An Besprechungen zu dem Thema habe er nicht teilgenommen; es sei nicht ersichtlich, wie er an das Wissen gelangt sein soll. Tats�chlich seien die streitgegenst�ndlichen Erfindungen von den Beklagten zu 4) und zu 5) gemacht worden. Diese verf�gten �ber langj�hrige Erfahrung in dem Bereich der Nasschemie. Auf die den Patenten zugrundeliegenden Problemstellungen seien sie durch den Auftrag eines Kunden zum Umbau einer derartigen FOUP-Reinigungsvorrichtung aufmerksam geworden.

26 Da der Beklagte zu 5) seinen Wohnsitz in der Schweiz habe, sei die Klage gegen ihn zudem nicht zul�ssig.

27 Das Vorbringen der Kl�gerin im nachgelassenen Schriftsatz vom 22.10.2024 gab keinen Anlass zur Wiederer�ffnung der m�ndlichen Verhandlung.

28 Im �brigen wird auf die Schrifts�tze der Parteien nebst Anlagen sowie das Protokoll der m�ndlichen Verhandlung vom 15.10.2024 verwiesen.

Gründe

A.

29 Die Klage ist zul�ssig. Die internationale Zust�ndigkeit deutscher Gerichte folgt hinsichtlich der Beklagten zu 1) bis 4) aus � 32 ZPO analog. Es kann dahingestellt bleiben, ob der Beklagte zu 5) seinen Wohnsitz in Deutschland oder in der Schweiz hat, weil sich die internationale Zust�ndigkeit jedenfalls entweder aus � 32 ZPO analog oder aus Art. 5 Abs. 3 Lug� ergibt. Das Deutsche Patent- und Markenamt, bei dem die Patente bzw. im Fall des Klagepatents D die Priorit�tsschrift angemeldet wurden, hat seinen Sitz in M�nchen. Die �rtliche Zust�ndigkeit folgt aus � 32 ZPO, die sachliche Zust�ndigkeit aus � 143 PatG.

30 Die von den Beklagten ger�gte Klageerweiterung hinsichtlich der Patentfamilien C und D ist sachdienlich, � 263 ZPO, weil hinsichtlich des Vorgangs der behaupteten Entnahme auf den bisherigen Vortrag zur�ckgegriffen werden kann. Die Beklagten hatten hinreichend Zeit zur Stellungnahme, gleichzeitig wird eine neue Klage hinsichtlich der Patentfamilien C und D vermieden.

B.

31 Die Klage ist unbegr�ndet. Die Kl�gerin hat weder den nach � 8 PatG i.V.m. Art. II � 5 Abs. 1 S. 2 IntPat�G erforderlichen Erfindungsbesitz noch einen Wissenstransfer an die Beklagtenpartei hinreichend dargelegt.

I.

32 1. Die vier mit den Streitpatentfamilien A bis D zum Schutz gebrachten Erfindungen betreffen jeweils unterschiedliche Aspekte von Reinigungsvorrichtungen f�r topff�rmige Hohlk�rper, insbesondere Transportbeh�lter f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken. Den Patentfamilien sind folgende, in Klagepatent A erl�uterte Grund�berlegungen gemein:

33 Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen durchlaufen Halbleiterwafer eine Vielzahl von Bearbeitungsschritten, welche weitgehend in Reinr�umen erfolgen, die mit hohem Aufwand frei von Verunreinigungen, insbesondere Partikeln, gehalten werden (Abs. [0002] des Klagepatents A). Zum Transport von einer Bearbeitungsstation zur n�chsten verwendet man spezielle Transportbeh�lter (sogenannte „front opening unified pods“, nachfolgend: FOUP). Darunter ist ein kastenf�rmiger Transportbeh�lter zu verstehen, in die eine Vielzahl von Wafern eingesteckt wird. FOUPs haben �blicherweise eine topff�rmige Grundform mit einer rechteckigen Grundfl�che und werden mit einem abnehmbaren Deckel verschlossen (Abs. [0003] des Klagepatents A). FOUPs m�ssen von Zeit zu Zeit gereinigt werden (Abs. [0004] des Klagepatents A), wobei sie �blicherweise auf ihrer Au�enfl�che deutlich st�rker verunreinigt sind als auf ihrer Innenfl�che (Abs. [0007] des Klagepatents A).

34 Angesprochene Fachperson ist ein Diplom-Ingenieur oder Master der Fachrichtung Maschinenbau oder entsprechender Fachrichtung mit mehrj�hriger Erfahrung in der Entwicklung von Anlagen zur Reinigung von Transportbeh�ltern f�r Halbleiter und Lithografiemasken.

35 Im Stand der Technik sind Reinigungsvorrichtungen bekannt, bei denen FOUPs sowohl auf der Au�en- als auch der Innenfl�che gereinigt werden.

36 Das Klagepatent A kritisiert am Stand der Technik, dass dabei verunreinigende Partikel von der Au�enfl�che zur Innenfl�che gelangen k�nnen. Um dennoch ein zufriedenstellendes Reinigungsergebnis zu erreichen, muss der Reinigungsvorgang f�r eine entsprechend lange Zeitdauer durchgef�hrt werden, w�hrend der die FOUPs nicht f�r den Transport von Halbleiterwafern zur Verf�gung stehen. Zudem ist die ben�tigte Menge an Reinigungsfluid vergleichsweise hoch (Abs. [0007] des Klagepatents A).

37 Hieraus definiert sich die objektiv zu bestimmende Aufgabe, eine Vorrichtung zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern bereitzustellen, mit welcher diese mit einfachen und kosteng�nstigen Mitteln innerhalb von kurzer Zeit gereinigt werden k�nnen (Abs. [0008] des Klagepatents A). Kernpunkt der Erfindung ist bei allen streitgegenst�ndlichen Patentfamilien die jeweils getrennte Reinigung von Innenraum und Au�enraum des FOUP. Die vier Patentfamilien stellen bei wertender Betrachtung denjenigen Schutz dar, der erforderlich ist, um eine bestimmte Maschine unter patentrechtlichen Gesichtspunkten hinreichend zu sch�tzen.

38 Patentfamilie A befasst sich mit dem Aufbau der Reinigungsvorrichtung als solcher und beschreibt die getrennte Reinigung von Innen- und Au�enbereich des FOUP (Abs. [0011] ff. des Klagepatents A).

39 Patentfamilie B besch�ftigt sich damit, dass der zu reinigende Hohlk�rper am Deckel der Reinigungsvorrichtung angebracht wird. Da der Deckel dieser Vorrichtung zum Einbringen der FOUP ohnehin ge�ffnet werden muss, und da das Einbringen und Entnehmen aus dem Innenraum der Reinigungsvorrichtung einen zeitaufw�ndigen Schritt darstellt, wird so der Bewegungsablauf vereinfacht und die Dauer des Reinigungsvorgangs verk�rzt (Abs. [0008] bis [0010] des Klagepatents B).

40 Die Patenfamilie C betrifft �ber die blo�e Reinigung hinaus eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Trocknen von FOUP. Zentrales Merkmal ist dabei die Verwendung eines Verdr�ngungsk�rpers, wodurch einerseits das Volumen der Kammer und somit die mittels Vakuums zu entfernende Fluidmenge reduziert als auch die Str�mung des Sp�lungsfluids gezielt gesteuert werden kann (Abs. [0013] bis [0015] des Klagepatents C).

41 Patentfamilie D ist durch die Verwendung von �berkritischem CO2 als Reinigungsfl�ssigkeit zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che gekennzeichnet (S. 5 Z. 6 ff. des Klagepatents D).

42 2. Als L�sung f�r die jeweiligen Problemstellungen stellen Klagepatente die jeweiligen Anspr�che 1 vor, die sich merkmalsm��ig wie folgt gliedern lassen:

43 Klagepatent A (DE ‘…)(Einschr�nkungen durch Unterstreichung markiert):

1.1

Vorrichtung (10) zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern (30) f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken,

1.2

wobei der Hohlk�rper (12) umfasst:

1.2.1

eine Bodenwand (32) und eine oder mehrere Seitenw�nde (34), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (33) bilden, und

1.2.2

eine der Bodenwand (32) gegen�berliegende �ffnung (36), die von einer Randfl�che (38) der Seitenwand (34) umschlossen wird,

1.3.

wobei die Vorrichtung (10) umfasst:

1.3.1

eine Auflagewand (20), aufwelche der Hohlk�rper (12) mit der Randfl�che (38) aufgelegt werden kann,

1.3.2

eine Verriegelungseinrichtung (26), mit welcher der Hohlk�rper (12) mit der Randfl�che (38) dichtend und l�sbar mit der Auflagewand (20) verbindbar ist,

1.3.3

zumindest eine von der Auflagewand (20) gebildete Durchgangs�ffnung (24), die radial innerhalb der Verriegelungseinrichtung (26) angeordnet ist,

1.3.4

eine Reinigungseinrichtung (40), mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) abgegeben werden kann, wenn der Hohlk�rper (12) mit der Auflagewand (20) verbunden ist, und

1.3.5

einen ersten Abf�hrkanal (70) mit einem ersten Ende (72) umfasst, wobei der erste Abf�hrkanal (70) mit dem ersten Ende (72) ausschlie�lich mit der Durchgangs�ffnung (24) in Fluidkommunikation steht und mit welchem das von der Reinigungseinrichtung (40) abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann,

1.4

dadurch gekennzeichnet, dass in der Auflagewand (20) ein erster Kanal (41) angeordnet ist, mit welchem ein Sp�lungsfluid zur Randfl�che (38) gef�hrt werden kann.

44 Klagepatent B (DE‘ …) (Einschr�nkung durch Unterstreichung markiert):

Vorrichtung (12) zum Behandeln von topff�rmigen Hohlk�rpern (10), insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken,

1.1.

umfassend

1.1.1.

• eine Wandung (14), welche einen Innenraum (16) umschlie�t,

1.1.2.

• eine im Innenraum (16) angeordnete Greif- und Bewegungseinrichtung (17) zum Bewegen des Hohlk�rpers (10) innerhalb des Innenraums (16), und

1.1.3.

• eine von der Wandung (14) gebildete Wandungs�ffnung (26), die von einem Verschlussk�rper (28) verschlie�bar ist und durch welche der Innenraum (16) zug�nglich ist,

1.2.

wobei der Verschlussk�rper (28)

1.2.1.

mittels einer Befestigungseinheit (30) bewegbar in der Vorrichtung (12) gelagert ist, und

1.2.2.

einen Aufnahmeabschnitt (34) aufweist, mit welchem der Hohlk�rper (10) l�sbar mit dem Verschlussk�rper (28) verbindbar ist.

1.3.

dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlk�rper (10)

1.3.1

einen ersten Greifabschnitt (46) und

1.3.2.

einen zweiten Greifabschnitt (48) aufweist, wobei

1.3.3.

der Aufnahmeabschnitt (34) Verriegelungsmittel (36) aufweist, mit denen der Verschlussk�rper (28) unter Verwendung des ersten Greifabschnitts (46) mit dem Hohlk�rper (10) zusammenwirken kann, und

1.3.4

die Greif- und Bewegungseinrichtung (17) Greifmittel (50) aufweist, mit denen die Greif- und Bewegungseinrichtung (17) unter Verwendung des zweiten Greifabschnitts (48) mit dem Hohlk�rper (10) zusammenwirken kann.

45 Klagepatent C (DE ‘…):

Vorrichtung (10) zum Trocknen und/oder Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken,

1.1.

wobei der Hohlk�rper (12)

1.1.1.

eine Hohlk�rperwandung (14), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (16) bildet, wobei die Hohlk�rperinnenfl�che (16) einen Hohlk�rperinnenraum (17) begrenzt, und

1.1.2.

eine von der Hohlk�rperwandung (14) umschlossene Hohlk�rper�ffnung (18) aufweist, durch welche der Hohlk�rperinnenraum (17) zug�nglich ist, umfasst,

1.2.

wobei die Vorrichtung (10)

1.2.1.

ein erstes Haltemittel (30), mit welcher die Vorrichtung (10) haltend mit dem Hohlk�rper (12) zusammenwirken kann,

1.2.2.

eine Evakuierungseinrichtung (60) zum Anlegen eines Unterdrucks im Hohlk�rperinnenraum (17) und/oder

1.2.3.

eine F�rdereinrichtung (66) zum F�rdern eines Sp�lungsfluids durch den Hohlk�rperinnenraum (17), und

1.2.4.

einen Verdr�ngungsk�rper (48) umfasst, der durch die Hohlk�rper�ffnung (18) in den Hohlk�rperinnenraum (17) einbringbar oder eingebracht ist.

46 Klagepatent D (WO‘…):

Verfahren zum Reinigen von topff�rmigen Hohlk�rpern (12), insbesondere von Transportbeh�ltern (30) f�r Halbleiterwafer oder f�r EUV-Lithografie-Masken mit einer entsprechenden Vorrichtung,

1.1.

wobei der Hohlk�rper

1.1.1.

eine Bodenwand (32) und eine oder mehrere Seitenw�nde (34), die eine Hohlk�rperinnenfl�che (33) bilden, und

1.1.2.

eine der Bodenwand (32) gegen�berliegende �ffnung (36) aufweist, die von einer Randfl�che (38) der Seitenwand (34) umschlossen wird, umfasst, und

1.2.

die Vorrichtung

1.2.1.

eine Reinigungseinrichtung (40) mit einer ersten Abgabeeinheit (43), mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) abgegeben werden kann, und

1.2.2.

einen ersten Abf�hrkanal (70) aufweist, mit welchem das von der Reinigungseinrichtung (40) abgegebene erste Reinigungsfluid abgef�hrt werden kann, und

1.3.

das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

1.3.1.

Abgeben eines ersten Reinigungsfluids zum Reinigen der Hohlk�rperinnenfl�che (33) mittels der ersten Abgabeeinheit (43), und

1.3.2.

Abf�hren des ersten Reinigungsfluids mittels des ersten Abf�hrkanals (70), wobei

1.3.3.

als erstes Reinigungsfluid �berkritisches Kohlendioxid verwendet wird.

II.

47 Der Vindikationsanspruch gegen den Inhaber eines europ�ischen Patents richtet sich hinsichtlich des deutschen Teils nach deutschem Recht gem�� � 8 PatG, wobei die Besonderheiten des Art. II � 5 Abs. 1 S. 2 IntPat�G zu beachten sind (Konertz/Kubis, BeckOK Patentrecht, Stand 15.07.2024, � 8 Rn. 57 ff.). Gleiches gilt hinsichtlich der PCT-Anmeldungen.

48 1. Die Vindikationskl�gerin ist darlegungs- und beweisbelastet sowohl f�r den Erfindungsbesitz als auch f�r die Kausalit�t zwischen ihrer Erfindung und der Anmeldung der Vindikationsbeklagten (sog. Wissenstransfer). Entsprechendes gilt im Anwendungsbereich des Art. II � 5 IntPat�G (OLG M�nchen BeckRS 2017, 152300 Rn. 92). Damit muss sie darlegen und gegebenenfalls beweisen, dass eine Doppelerfindung ausscheidet.

49 2. Die Kl�gerin konnte bereits keinen Besitz an den streitgegenst�ndlichen Erfindungen darlegen.

50 a. Erfindungsbesitz hat, wer aufgrund eigener Erkenntnis oder der Erkenntnis eines f�r ihn handelnden Dritten wei�, welche Ma�nahmen er ergreifen muss, um den erfindungsgem��en Erfolg herbeizuf�hren. Derjenige, der sich auf den Erfindungsbesitz beruft, muss �ber die Kenntnis einer fertigen und ausf�hrbaren technischen Lehre verf�gen (Scharen/Benkard, PatG, 12. Auflage, � 12 Rn. 5 m.w.N.). Versuche, durch die eine brauchbare Probleml�sung erst gefunden werden soll, stellen noch keinen Erfindungsbesitz dar (LG D�sseldorf, Urteil vom 26.07.2012, Az. 4 a O 11/11). Demgegen�ber liegt Erfindungsbesitz vor, wenn die sich aus Aufgabe und L�sung ergebende technische Lehre fertig ist und der Erfinder subjektiv erkannt hat, dass eine tats�chliche Ausf�hrung m�glich ist (BGH GRUR 2012, 895, Rn. 18 – Desmopressin).

51 b. Die Kl�gerin hat nicht hinreichend dargelegt, dass sie f�r die einzelnen Erfindungen Erfindungsbesitz hatte. Ihr Vortrag beschr�nkt sich darauf, dass sie jeweils einzelne Gesichtspunkte, die der jeweiligen Erfindung zugrunden liegen, gekannt habe. Damit gen�gt sie ihrer Darlegungs- und Beweislast jedoch nicht, weil dieser Vortrag nicht den Erfindungsbesitz begr�ndet, sondern lediglich einzelne Ideen darlegt, die in das fachliche Allgemeinwissen fallen. Dabei �bersieht sie, dass es verfehlt ist, die einzelnen Merkmale des Patentanspruchs darauf hin zu untersuchen, ob sie f�r sich genommen im Stand der Technik bekannt sind. Denn es steht der Patentf�higkeit einer technischen Lehre nicht zwangsl�ufig entgegen, dass jedes ihrer Merkmale f�r sich genommen im Stand der Technik bekannt ist. Entscheidend ist die technische Lehre in ihrer Gesamtheit (BGH GRUR 2011, 903. Rn. 21 – Atemgasdrucksteuerung).

52 Die Kl�gerin st�tzt ihren Vortrag zum Erfindungsbesitz darauf, dass den zust�ndigen Produktentwicklern der Kl�gerin bekannt gewesen sei, dass ihre Kunden auf die Reinheit des Inneren des FOUP deutlich gr��eren Wert legten als auf die der Au�enseite. Dies sei ein Aspekt gewesen, den der Beklagte zu 2) in Gespr�chen mit Arbeitnehmern der Kl�gerin besonders betont habe. Daraus habe sich die Fragestellung entwickelt, wie gezielt der FOUP-Innenraum gereinigt werden k�nne. Dabei sollte ein reduzierter Energieverbrauch und eine verk�rzte Reinigungsdauer erzielt werden. Die konkret von der Kl�gerin vorgetragenen Veranstaltungen und �berlegungen zum damaligen Zeitpunkt begr�nden jedoch noch keinen Erfindungsbesitz, sondern stellen allgemeines „Brainstorming“ dar bzw. gehen �ber dieses nicht hinaus. Im Einzelnen:

53 (1) Die Kl�gerin tr�gt vor, Arbeitnehmer der Kl�gerin h�tten im Fr�hjahr 2020 die vom Klagepatent A beanspruchte Erfindung als eines von mehreren Konzepten f�r die neue Reinigungsvorrichtungsgeneration entwickelt. Einer der Mitarbeiter der Kl�gerin, Herr …, habe die von Anspruch 1 des Klagepatents A beanspruchte Erfindung in einem Zeitraum zwischen Herbst 2019 und Fr�hjahr 2020 entwickelt und anschlie�end bei zwei Besprechungen am … und … vorgestellt, bei denen der Beklagte zu 2) jeweils nicht anwesend gewesen sei. Der Beklagte zu 2) habe jedoch durch Randgespr�che mit Mitarbeitern der Kl�gerin von dieser wie auch den anderen Erfindungen erfahren. Nach dem kl�gerischen Vortrag zeige die nachfolgend eingelichtete Skizze, welche der am … vorgef�hrten PowerPoint-Pr�sentation entnommen wurde (S. 7 der Anlage TW-a 8), die fertige Erfindung.

54 ...Im Rahmen dieser Besprechung habe Herr … das Konzept anhand der nachfolgend eingelichteten, aus der Erinnerung des Arbeitnehmers f�r die Klage nochmals nachtr�glich erstellten Skizzen (Anlage TW-A 7) erl�utert:

… …

55 Die Kl�gerin ist der Ansicht, die fertige Erfindung habe schon vor der ersten Besprechung am … vorgelegen. Im Nachgang dazu sei die als Anlage TW-A 8 vorgelegte PowerPoint-Pr�sentation erstellt worden. Diese sei bei dem als „Brainstorming Meeting“ (siehe Anlage TW-A-10) bezeichneten Treffen am … gezeigt worden.

56 Dieser PowerPoint-Pr�sentation kann entgegen der kl�gerischen Ansicht noch keine fertige technische Erfindung im Sinne einer nacharbeitbaren Lehre entnommen werden; es handelt sich vielmehr um die Darstellung von Grund�berlegungen. Eine konkrete Ausgestaltung, wie die getrennte Reinigung von Innenraum und Au�enraum technisch vorgenommen werden soll, l�sst sich der Skizze nicht entnehmen, selbst wenn die nachtr�glich erstellte Skizze tats�chlich den Stand der Beratungen zutreffend wiedergeben sollte. Soweit die Kl�gerin vortr�gt, die Anweisung zum technischen Handeln sei in der zweiten Besprechung und in Randgespr�chen offengelegt worden, so ist das unbehelflich. Da die PowerPoint-Pr�sentation bereits vor Termin am … erstellt wurde, erlaubt sie keine R�ckschl�sse darauf, ob der Erfindungsgedanke gegebenenfalls in dieser Besprechung konkret entwickelt wurde. Der Vortrag zu den Randgespr�chen ist nicht hinreichend substantiiert, so dass den von der Kl�gerin angebotenen Beweisangeboten nicht nachgekommen werden musste. Ansonsten w�rde eine unzul�ssige Tatsachenermittlung stattfinden.

57 (2) Die Kl�gerin tr�gt hinsichtlich des Klagepatents B vor, dass in den Produktentwicklungsbesprechungen am … auch verschiedene Konzepte zum Aufbau, insbesondere der Anordnung der T�r (Verschlussk�rper) und/oder des FOUP-Aufnahmeabschnitts vorgestellt worden seien. Dabei sei auch das Konzept der Funktionsintegration besprochen worden, was dem Merkmal 1.2.2 entspreche, das das Klagepatent B vom Stand der Technik abgrenze. Ma�geblich habe Herr … dazu beigetragen, der damals als Arbeitnehmer f�r die mechanische Produktentwicklung der Kl�gerin verantwortlich gewesen sei. Auch im Juli 2020 habe … dieses Konzept erl�utert und in Abgrenzung zu einem Konkurrenzprodukt verschiedene Ans�tze f�r die Gestaltung des Loadport bzw. die Beweglichkeit des Loadport vorgestellt. Eine Option sei dabei der Aufbau wie nach Merkmal 1.2.2. gewesen. Diese Option sei jedoch nicht weiterverfolgt worden.

58 Damit ist die Kl�gerin auch hinsichtlich des Klagepatents B ihrer Darlegungslast nicht nachgekommen. Sie hat auf den vorbekannten Stand der Technik hingewiesen, ohne dazulegen, inwieweit sie diesen weiterentwickelt habe. Dass der Transportweg des zu reinigenden Beh�ltnisses von wesentlicher Bedeutung ist, entspricht dem allgemeinen Fachwissen. Die seitens des Klagepatents B gew�hlte konkrete technische Ausgestaltung ist aus dem kl�gerischen Vortrag nicht ersichtlich. Aus diesem Grund war den von der Kl�gerin angebotenen Beweisangeboten nicht nachzukommen.

59 (3) Die Kl�gerin tr�gt bez�glich der Patentfamilie C vor, dass es ma�geblich auf den in Merkmal 1.2.4 genannten Verdr�ngungsk�rper ankomme, mit dem sich die Erfindung vom Stand der Technik abgrenze. Dieses Merkmal sei bei einer formlosen Besprechung am … von … mittels PowerPoint-Pr�sentation (Anlage TW-C 3) vorgestellt worden. Bei der Pr�sentation sei es unter anderem darum gegangen, zur Verk�rzung der Reinigungsdauer das Volumen der Vakuumkammer zu reduzieren. Auf der nachfolgend eingelichteten S. 3 der Pr�sentation sei ein Volumenk�rper aus Glas gezeigt. Gleichzeitig sei eine Berechnung aufgef�hrt, aus der sich ergebe, dass bei einer Verwendung dieses Verdr�ngungsk�rpers das Kammervolumen um 15 Liter reduziert und die Reinigungszeit damit verk�rzt werden k�nnte.

60 … Auch mit diesem Vortrag gen�gt die Kl�gerin ihrer Darlegungslast nicht. Es ist eine Selbstverst�ndlichkeit, dass bei einer Reinigungsvorrichtung, bei der es auf die Hochsensibilit�t der Reinheit ankommt, die Verringerung des Reinigungsraums vorteilhaft ist. Eine hinreichen konkretisierte technische Ausgestaltung ist demgegen�ber nicht dargelegt. Auch diesbez�glich war den von der Kl�gerin angebotenen Beweisangeboten deshalb nicht nachzukommen.

61 (4) Die Kl�gerin beruft sich darauf, dass sich die Patentfamilie D allein durch das Anspruchsmerkmal 1.3.3 (�berkritisches Kohlenstoffdioxid) vom Stand der Technik unterscheide. Die Kl�gerin habe jedoch bereits im Jahr 2012 im Rahmen einer anderen Patentanmeldung (Anlage TW-D 3) vorgeschlagen, eine Reinigungskammer mit „supercritical liquid cleaning“ zu betreiben. Zudem habe bei der Kl�gerin am … eine Besprechung zum Stand der Produktentwicklung stattgefunden. In dieser Besprechung sei �berkritisches Kohlenstoffdioxid als Reinigungsfluid zur Reinigung von FOUPs gegen verschiedene Arten von Verunreinigungen, n�mlich gegen VOCs (volatile organic compounds = fl�chtige organische Verbindungen), AMCs (airborne molecular contamination = atmosph�rische molekulare Verunreinigungen) und Feuchtigkeit besprochen worden. Dies sei auch der Seite 4 der PowerPoint-Pr�sentation (Anlage TW-D 4) zu entnehmen, welche in der Besprechung pr�sentiert und vorab per E-Mail unter den Teilnehmern zirkuliert worden sei:

62 … Schlie�lich ist auch dieser Vortrag nicht geeignet, um einen Erfindungsbesitz der Kl�gerin darzulegen. Sie beschr�nkt sich darauf vorzutragen, dass die Verwendung von �berkritischem Kohlendioxid als Reinigungsmittel bereits seit 2012 bekannt gewesen sei. Dies ist f�r sich genommen nicht ausreichend, um einen Erfindungsbesitz zu belegen. Die Kl�gerin hat die f�r einen Erfindungsbesitz erforderliche Kenntnis der konkreten Verwendung von �berkritischem Kohlendioxid bei der mit weiteren Komplikationen verbundenen getrennten Reinigung von Innen- und Au�enraum des FOUP nicht dargelegt.

63 Insgesamt ist der Vortrag der Kl�gerin nicht hinreichend konkret, als dass den zahlreichen Beweisangeboten der Kl�gerin nachgekommen werden m�sste. Insbesondere in Anbetracht der Tatsache, dass das Patenterteilungsverfahren beim Europ�ischen Patentamt f�r die Dauer einer anh�ngigen Vindikationsklage ruht, sind Zeugen- und Sachverst�ndigenbeweisangebote in Vindikationsverfahren sorgf�ltig zu pr�fen, ob sie durch hinreichend konkreten Tatsachenvortrag – der dem Beweisangebot vorangestellt ist – begr�ndet werden. Dies ist vorliegend bei keiner der Patentfamilien der Fall.

64 3. Dar�ber hinaus ist die Kl�gerin auch bez�glich des Wissenstransfers ihrer Darlegungslast nicht hinreichend nachgekommen.

65 a. Ein Wissenstransfer ist dann schl�ssig dargetan, wenn feststeht, dass Unterlagen oder Informationen, die gerade die streitgegenst�ndliche Erfindung offenbaren, dem Patentanmelder �bergeben oder mitgeteilt worden sind. Die �bergabe irgendwelcher Informationen, mag die Weitergabe auch nach dem jeweils anwendbaren Recht unzul�ssig gewesen sein, ist nicht geeignet, einen Wissenstransfer gerade hinsichtlich der streitgegenst�ndlichen Erfindungen darzutun (LG M�nchen I, GRUR-RS 2020, 22572).

66 b. Beim Wissenstransfer ist hinsichtlich der Anforderungen an die Darlegungslast nach der Art der Verk�rperung des mitgenommenen Wissens zu unterscheiden. Sofern beim Verlassen eines Unternehmens geheime Unterlagen mitgenommen werden, besteht eine widerlegliche Vermutung daf�r, dass die angemeldete Erfindung auf diesem Wissen beruht. Sofern allerdings eine Erfindung auf nicht verk�rpertem Wissen beruhen soll, d.h. das „Wissen nur im Kopf“ mitgenommen wurde, trifft die Kl�gerseite bez�glich des Wissenstransfers eine deutlich h�here Darlegungslast.

67 c. Zun�chst ist die Frage zu kl�ren, wie das durch die Anstellung bei dem ehemaligen Arbeitgeber vermittelte Wissen eines ausscheidenden Arbeitnehmers bei dessen nachfolgenden Erfindungen rechtlich zu beurteilen ist. Der Bundesgerichtshof hat f�r die Konstellation der Zusammenarbeit zweier Erfinder Minimalanforderungen aufgestellt, wonach jeder Beitrag f�r die Einr�umung einer Mitberechtigung ausreicht; es muss sich nicht um den Kern der Erfindung handeln. Vielmehr reichen jede Miturs�chlichkeit und jeder Wissensansto� aus. Es werden nur solche Beitr�ge als nicht ausreichend angesehen, die den Gesamterfolg (gar) nicht beeinflusst haben und deshalb f�r die L�sung unwesentlich sind (BGH GRUR 1966, 558, 559 f- Spanplatten; BGH GRUR 2004, 50, 51 – Verkranzungsverfahren). Dieses Minimalkonzept wird der Konstellation des Ausscheidens eines ehemaligen Arbeitnehmers aus einem Unternehmen nicht gerecht. Bei einem Unternehmenswechsel kann man nicht auf die – im Rahmen einer langj�hrigen Besch�ftigung beim Arbeitgeber fast zwangsl�ufig auftretende – Verbesserung des allgemeinen Fachwissens des ausscheidenden Arbeitnehmers abstellen, da ansonsten bei jeder von diesem Arbeitnehmer in der Folgezeit get�tigten Erfindung ein Konnex zum ehemaligen Arbeitgeber best�nde. Ein derart weitgehender Schutz des ehemaligen Arbeitgebers steht wertungsm��ig zu den erheblich eingeschr�nkten Chancen des ausscheidenden Arbeitnehmers auf dem Arbeitsmarkt in keinem angemessenen Verh�ltnis. In diesen Situationen kann die Vereinbarung eines nachvertraglichen Wettbewerbsverbots von 1 bis 2 Jahren sachgerecht sein, da so der ehemalige Arbeitgeber vor der Nutzung seines aktuellen Wissens durch einen Konkurrenten gesch�tzt wird, im Gegenzug aber die finanziellen Einbu�en seines ehemaligen Arbeitnehmers kompensiert. Sofern kein Wettbewerbsverbot vereinbart wird, muss durch andere Mechanismen sichergestellt werden, dass ein angemessener Interessensausgleich stattfindet. Der R�ckgriff auf die seitens des Bundesgerichtshofs f�r den Fall zweier Miterfinder aufgestellten Grunds�tze wird in dieser Konstellation den unterschiedlichen Positionen nicht gerecht.

68 d. Daher ist bei der Frage, was ein ausscheidender Arbeitnehmer an Wissen mitnehmen darf, zwischen Geheimwissen des Arbeitgebers und – wenn auch durch die Besch�ftigung m�glicherweise in erheblichem Ma�e gesteigertem – fachlichen Allgemeinwissen zu unterscheiden mit der Folge, dass allein dem Geheimwissen zuzuordnende bzw. darauf beruhende Erfindungen vindiziert werden k�nnen. Demgegen�ber unterfallen dem vindikationsrechtlichen Schutz diejenigen Erfindungen nicht, die auf dem Wissen beruhen, das schon Gegenstand von vorver�ffentlichen Patenten war. Auch Erfindungen, die auf der Erweiterung des Allgemeinwissens durch intensive fachliche Befassung mit der Sache zur�ckzuf�hren sind, sind von der Vindikation ausgeschlossen. Dabei ist es hinzunehmen, dass der ausgeschiedene Arbeitnehmer durch die Besch�ftigung in seinem ehemaligen Betrieb und die damit erfahrene Verbesserung seines allgemeinen Fachwissens im Rahmen der neuen Anstellung Erfindungen auch auf seinem ehemaligen Besch�ftigungsgebiet macht.

69 e. Die Kl�gerin hat den Wissenstransfer nicht schl�ssig dargelegt. Dabei st�tzt sie ihren Vortrag nicht darauf, dass der Beklagte zu 2) bei seinem Ausscheiden aus dem kl�gerischen Unternehmen Unterlagen mitgenommen haben soll. Vielmehr kn�pft sie daran an, dass die Erfindungen auf nicht verk�rperten, mithin „im Kopf des Beklagten zu 2)“ mitgenommenen Wissen beruhen sollen. In diesem Fall ist weiterer Vortrag dazu erforderlich, dass es sich zum einen um nicht jedermann zug�ngliches Geheimwissen handelt, und auf welche konkrete Art und Weise der Beklagte zu 2) hiervon Kenntnis erlangt haben soll. Eine reine M�glichkeitsargumentation, wie die Kl�gerin die hier vorgenommen hat, reicht nicht aus. Aus denselben Gr�nden kann sich die Kl�gerin nicht auf einen Anscheinsbeweis st�tzen, da die widerrechtliche Entnahme von Wissen keinen typischen Geschehensablauf darstellt (Mellulis/Benkard, PatG, 12. Auflage, � 8 Rn. 47 b). Eine andere Beurteilung kann sich aus den Umst�nden des Einzelfalls ergeben, wozu es jedoch nicht ausreichend ist, dass die seitens der Beklagten zu 1) angemeldeten Erfindungen den Kernbereich der kl�gerischen T�tigkeit betreffen.

70 Entgegen der kl�gerischen Ansicht kann aus den vorgelegten Email-Korrespondenzen (Anlagen TW 10 und TW 11) bereits nicht ersehen werden, dass der Beklagte zu 2) bis kurz vor seinem Ausscheiden aus dem kl�gerischen Unternehmen einer der zentralen Ansprechpartner f�r Patentschutz, insbesondere auf dem Gebiet der FOUP war. Die Emails sind stark geschw�rzt, sodass der genaue Inhalt nicht erkannt werden kann. Es kann folglich nicht ausgeschlossen werden, dass die Emails andere Fragestellungen betreffen.

71 Selbst wenn man den seitens der Kl�gerin – zuletzt mit nachgelassenem Schriftsatz vom 22.10.2020 – vorgetragenen Sachverhalt, dass sich der Beklagte zu 2) aktiv bem�ht hat, an Informationen zu gelangen (vgl. Emailkorrespondenz vom … …, Anlage TW20), als wahr unterstellt, kann daraus nicht zwangsl�ufig der Schluss gezogen werden, dass der Beklagte zu 2) genau die den streitgegenst�ndlichen Erfindungen zugrundeliegenden Informationen auch erhalten hat. Jedenfalls handelt es sich nicht um einen Geschehensablauf, der zu einer Umkehrung der Beweislast f�hren w�rde.

72 Zudem ist aus Sicht der Kammer auch nachvollziehbar, dass die seit mehreren Jahren auf dem Gebiet der Nasschemie t�tigen Beklagten zu 4) und zu 5) �ber die f�r die L�sung der Aufgabenstellung des Klagepatents erforderliche Fachkompetenz verf�gen, sodass auch hieraus keine Beweiserleichterung hergeleitet werden kann. Die Ausf�hrungen der Kl�gerin dazu, dass es unglaubw�rdig sei, dass die Beklagten zu 4) und zu 5) als Gesch�ftsf�hrer der … trotz der Corona-Pandemie Kapazit�ten f�r die Entwicklung der streitgegenst�ndlichen Erfindungen gehabt h�tten, liegen neben der Sache, zumal die Kl�gerin selbst vortr�gt, im gleichen Zeitraum – beispielsweise durch Besprechungen am … – an diesen Erfindungen gearbeitet zu haben. Da wie ausgef�hrt die Darlegungs- und Beweislast auf Kl�gerseite liegt, sind die Beklagten auch nicht gehalten, weitergehende Ausf�hrungen zu den jeweiligen Beitr�gen der Miterfinder bzw. der Entstehungsgeschichte der Erfindungen zu machen.

III.

73 Mangels Bestehens eines Vindikationsanspruchs war die Klage auch hinsichtlich der geltend gemachten Folgeanspr�che abzuweisen.

C.

74 Die Kostenentscheidung folgt aus � 91 Abs. 1 ZPO. Die Entscheidung �ber die vorl�ufige Vollstreckbarkeit hat ihre Grundlage in � 709 ZPO. Die Festsetzung des Streitwerts richtet sich nach � 3 ZPO. Der Streitwert basiert auf den Angaben der Parteien in der Hauptverhandlung. Dort wurde ein Betrag von 6 Mio. EUR f�r beide Verfahren diskutiert. Dieser Betrag war an der Zahl der Patentanmeldungen bzw. Patente orientiert. Die Aufteilung zwischen den beiden Verfahren (Az. 7 O 13928/23 und Az. 7 O 13005/24) spiegelt dies wider. Grunds�tzlich wurde jedes Schutzrecht mit etwa 400.000,00 EUR bewertet.

Leitsatz

Bei der Frage, inwieweit ein ehemaliger Arbeitgeber einen Vindikationsanspruch hinsichtlich Erfindungen hat, die auf Wissen beruhen, das der Arbeitnehmer w�hrend seiner Anstellung erworben hat, kann nicht ohne Weiteres auf die vom Bundesgerichtshof entwickelten Grunds�tze zur Berechtigung eines Miterfinders zur�ckgegriffen werden, da ansonsten bei jeder von diesem Arbeitnehmer in der Folgezeit get�tigten Erfindung ein Konnex zum ehemaligen Arbeitgeber best�nde.

Leitsatz

Hinsichtlich der Verwendung von im Betrieb des ehemaligen Arbeitgebers erworbenem Wissen ist zwischen Geheimwissen des Arbeitgebers und – wenn auch durch die Besch�ftigung m�glicherweise in erheblichem Ma�e gesteigertem – fachlichen Allgemeinwissen zu unterscheiden mit der Folge, dass allein dem Geheimwissen zuzuordnende bzw. darauf beruhende Erfindungen vindiziert werden k�nnen.

Leitsatz

Erfindungen, die auf der Erweiterung des Allgemeinwissens durch intensive fachliche Befassung mit der Sache zur�ckzuf�hren sind, sind von der Vindikation ausgeschlossen.

Leitsatz

Kn�pft der Klagevortrag in einer Patentvindikationsklage daran an, dass die Erfindung auf nicht verk�rpertem, mithin „im Kopf des Arbeitnehmers“ mitgenommenem Wissen beruht, ist Vortrag dazu erforderlich, dass es sich zum einen um nicht jedermann zug�ngliches Geheimwissen handelt und auf welche konkrete Art und Weise der Arbeitnehmer hiervon Kenntnis erlangt haben soll.��(Rn. 69) (redaktioneller Leitsatz)

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Erfolglose Vindikationsklage des fr�heren Arbeitgebers